静電アクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-089946
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289679
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】常に安定した駆動力を発揮できるとともに、小型化が可能な静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】固定子20と、固定子20に案内されて所定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面に電極が形成された可動子80とを備えた静電アクチュエータ10において、固定子20は、樹脂材製の固定子枠40と、固定子枠40に取り付けられる電極基板50と、電極基板50を固定子枠40に固定する電極固定ピン60及び電力供給ピン70とを備えている。

請求項（抜粋）：

固定子と、この固定子に案内されて所定方向に往復動自在で、かつ、相対向する一対の表面に電極が形成された可動子とを備えた静電アクチュエータにおいて、上記固定子は、樹脂材製の固定子枠と、この固定子枠に取り付けられる電極基板と、この電極基板を上記固定子枠に固定する固定用部材とを備えていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H02N 1/00 , G02B 7/04

FI (2件)：

H02N 1/00 , G02B 7/04 E

Fターム (3件)：

2H044BE02 , 2H044BE06 , 2H044BE10

引用特許：

審査官引用 (4件)

光学装置およびこの光学装置を用いた観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-046654 出願人：株式会社東芝
ラジアルギャップ型静電モータ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-052863 出願人：シチズン時計株式会社
静電モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-281642 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

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