特許
J-GLOBAL ID：200903053077706366

3次元計測装置及び3次元計測方法

発明者：
藤原 久利

藤原 久利 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-316025
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150929
出願日： 2002年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】ピン形状の突起を有する被計測物体を3次元計測するときに、測定精度の高いピン形状の上端面の3次元計測が可能な3次元計測装置を提供する。【解決手段】Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチpでX-Y平面に配列した格子30と、格子30を移動させる格子位置制御部4と、Y軸に沿った線状のY軸方向へ延びる線状の平行光を出射する第1線状照射系1a及び第2線状照射系1bと、格子30を介して被計測物体50の複数のモアレ縞の画像を取り込む受光部2と、格子位置制御部4の動作を制御し、且つ受光部2に取り込まれた複数のモアレ縞の画像データから代表計測値を算出し、3次元計測データに変換する制御システムとを備える3次元計測装置である。突起51の先端部のエッジ部分の3次元計測結果を上端面の3次元計測結果とすることで、高い測定精度を得ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチでX-Y平面に配列した格子と、 前記格子の面を実質的にX-Y平面に平行に保ち、被計測物体に対して前記格子をX-Y平面に直交するZ軸方向に移動させる格子位置制御部と、 前記格子に対し、Y軸に沿った線状の平行光を出射する線状照射系と、 前記格子を介して前記被計測物体のモアレ縞の画像を取り込む受光部と、 前記受光部に取り込まれた前記モアレ縞の画像データを3次元計測データに変換する画像処理部 とを備えることを特徴とする3次元計測装置。
IPC (2件)：
G01B11/25 ,  G01B11/24
FI (2件)：
G01B11/24 E ,  G01B11/24 K
Fターム (24件)：
2F065AA53 ,  2F065BB06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF06 ,  2F065GG03 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065GG16 ,  2F065GG22 ,  2F065HH05 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL41 ,  2F065LL59 ,  2F065MM04 ,  2F065NN20 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ42
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 表面形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-229907   出願人：株式会社山武, 吉澤徹
審査官引用 (1件)
  • 表面形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-229907   出願人：株式会社山武, 吉澤徹

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