特許

J-GLOBAL ID：200903087376026292

表面形状測定装置

発明者： 藤原 久利 ,  吉澤 徹 ,  大谷 幸利
出願人/特許権者： 株式会社山武 ,  吉澤 徹
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-229907
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039726
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】 鏡面物体の表面形状を正確に測定する。【解決手段】 格子3は、被測定物体11の被測定面と対向するように配置されている。光源1は格子3に照明光を照射する。カメラ6は、格子3を通過し被測定面で反射した光によって格子3上に形成されるモアレ縞の画像を取り込む。移動手段9は格子3と被測定面との距離Hを変化させる。解析手段8は、カメラ6によって撮像された画像から被測定面の3次元形状情報を求める解析処理を距離Hが異なる少なくとも2つの場合について行い、各々の場合の3次元形状情報及び距離Hに基づいて被測定面の傾斜による測定誤差を除去した真の3次元形状情報を求める。

請求項（抜粋）：

被測定物体の被測定面と対向するように配置された、等高線縞形成用の光学素子と、前記光学素子に照明光を照射する光源と、前記光学素子を通過し前記被測定面で反射した光によって前記光学素子上に形成される前記等高線縞の画像を取り込むカメラと、前記光学素子と被測定面との距離を変化させる移動手段と、前記カメラによって撮像された画像から前記被測定面の3次元形状情報を求める解析処理を前記距離が異なる少なくとも2つの場合について行い、各々の場合の3次元形状情報及び距離に基づいて前記被測定面の傾斜による測定誤差を除去した真の3次元形状情報を求める解析手段とを有することを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/25 ,  G06T 1/00 315

FI (4件)：

G06T 1/00 315 ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 D

Fターム (29件)：

2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065EE00 ,  2F065FF08 ,  2F065FF51 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL41 ,  2F065LL46 ,  2F065PP01 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA07 ,  5B057DA20 ,  5B057DB03 ,  5B057DC22