特許
J-GLOBAL ID：200903053119092240

ボロメータ用酸化物薄膜とその製造方法及び赤外線センサ

発明者：
吉武 務

吉武 務 について

, 
今井 英人

今井 英人 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235128
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042840
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：
【要約】【課題】 電気抵抗の温度係数を大きくする。【解決手段】 ボロメータ用抵抗体材料に、YBaCo<SB>2</SB>O<SB>5.5+x</SB>(-0.5<x<0.05)で示されるコバルト系酸化物からなる薄膜を用いる。コバルト系酸化物薄膜を用いたマイクロブリッジ構造を有する赤外線センサを提供する。
請求項（抜粋）：
赤外線入射に伴う温度変化に対応して抵抗値が変化するボロメータ用酸化物薄膜であって、YBaCo<SB>2</SB>O<SB>5.5+x</SB>(-0.5<x<0.05)で示されるコバルト系酸化物からなることを特徴とするボロメータ用酸化物薄膜。
IPC (6件)：
G01J 1/02 ,  C01G 51/00 ,  G01J 5/02 ,  H01C 7/04 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/00
FI (6件)：
G01J 1/02 C ,  C01G 51/00 A ,  G01J 5/02 C ,  H01C 7/04 ,  H01L 37/00 ,  H01L 27/14 K
Fターム (27件)：
2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09 ,  2G066CA01 ,  4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AB04 ,  4G048AC08 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4M118AA01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA14 ,  4M118CB13 ,  4M118EA01 ,  4M118FC18 ,  4M118GA10 ,  5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC04 ,  5E034DA07
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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