特許

J-GLOBAL ID：200903053121708703

吸着固定装置

発明者： 小坂井 守
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166708
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341043
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】 突起上面等の板状試料と接触する面の化学的、機械的特性を低下させることなく、また過度のガスを導入することなく、板状試料の面内温度の微少領域における均一性を向上させることができ、しかも充分な吸着力と電圧印加中止後の脱離性(静電チャックの場合)とを備えた吸着固定装置を提供する。【解決手段】 平面基台と、平面基台の吸着領域に突設された多数の突起5とを備え、突起5に板状試料を吸着させる。突起5の上面13は、試料保持面14と凹部15とからなる。

請求項（抜粋）：

平面基台と、前記平面基台の吸着領域に突設された多数の突起とを備え、前記多数の突起上に板状試料を吸着させる吸着固定装置であって、前記突起の上面は、試料保持面と凹部とからなることを特徴とする吸着固定装置。

IPC (2件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/68 R

Fターム (12件)：

3C016DA01 ,  3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031MA34 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板保持方法及び装置、及びそれを備えた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-169696   出願人：株式会社ニコン