特許

J-GLOBAL ID：200903053138130250

真空機器用ボールねじ

発明者： 近藤 博光 ,  中村 篤正 ,  山田 博 ,  信朝 雅弘 ,  石丸 路芳
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142702
公開番号（公開出願番号）：特開平8-004873
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 良好な耐久性を有すると共に、耐食性雰囲気下、大気・真空両雰囲気下での使用にも耐え得るボールねじを提供する。【構成】 ねじ軸1の内側軌道面1aとボールナット2の外側軌道面2aとの間に複数のボール3が配されている。複数のボール3のうち、例えば3分の2はボールねじ荷重を負荷する負荷ボール31、残りの3分の1はボールねじ荷重を負荷しない非負荷ボール32であり、負荷ボール31と非負荷ボール32とが2対1の割合で交互配置されている。負荷ボール31は軸受鋼等の金属材、非負荷ボール32はPTFE系の高分子材で形成されたものである。負荷ボール31の表面には、結晶性のPTFEからなる潤滑被膜31aが形成されている。

請求項（抜粋）：

外周面に螺旋状の内側軌道面を形成したねじ軸と、内周面に螺旋状の外側軌道面を形成したボールナットと、前記内・外側軌道面間に形成される螺旋状の空間に配された複数のボールと、前記螺旋状の空間を接続して一連のボール循環路を形成する循環部材とを有するボールねじにおいて、前記複数のボールのうち一部のボールを荷重を負荷しない非負荷ボールとし、かつ、この非負荷ボールを自己潤滑性を有するPTFE系の高分子材で形成すると共に、荷重を負荷する負荷ボールの表面および前記ボール循環路を形成する各部材の表面のうち少なくとも前記負荷ボールの表面に結晶性のPTFEからなる潤滑被膜を形成したことを特徴とする真空機器用ボールねじ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-163550
  
• 半導体製造設備用ボールねじ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-205344   出願人：エヌティエヌ株式会社