光ファイバーマトリックス投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045195
公開番号（公開出願番号）：特開2001-313251
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】高価でパタン修正や変更ができないレチクルを用いなくても、投影露光による任意パタンの形成を可能とする。【解決手段】光ファイバー群の射出口をマトリックス状に並べて配置し、各光ファイバー素線への光の供給、非供給を制御しながら、光ファイバー群と被露光基板との相対位置を順次変え、被露光基板を所望のパタン形状に露光し、任意パタンを形成する。

請求項（抜粋）：

射出口を配列した光ファイバー群と、該光ファイバー群の射出口の明暗を投影して被露光基板上に光像を形成する投影光学系と、前記光ファイバー群の射出口と被露光基板とを相対的に移動させる機構と、所要位置への光像形成のための前記光ファイバー群の射出口と被露光基板との相対的移動に伴って、前記光ファイバー群の各光ファイバー素線への光の供給を制御する露光制御手段とを有することを特徴とする光ファイバーマトリックス投影露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G02B 6/04 , G02B 6/42 , G03F 7/20 501 , H01L 33/00

FI (5件)：

G02B 6/04 B , G02B 6/42 , G03F 7/20 501 , H01L 33/00 M , H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公昭49-012052
特開昭57-176721
特公昭49-012052

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