特許
J-GLOBAL ID：200903053153077934
単色矩形波格子を用いる形状計測方法及び形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-315178
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121124
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 従来の方法の欠点を解消した非接触で物体の高さ分布を得る形状計測方法を提供する。【解決手段】 各々の白黒比が異なり、互いのピッチ比が、mとnを3以上の互いに素である整数として、m:nである2つの異なる矩形波成分を合成した単色矩形波格子を物体に投影するステップと、この単色矩形波格子全体の周期の1/(m×n)ずつずらしてm×n枚の画像を撮影するステップと、前記m×n枚の画像のうちm枚おきに抜き出したn枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求め、n枚おきに抜き出したm枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求めるステップと、前記双方の矩形波成分に関する位相分布から前記物体の高さ分布に対応する連続化された位相分布を得るステップとを含む。
請求項（抜粋）：
物体の高さ分布を得る形状測定方法において、各々の白黒比が異なり、互いのピッチ比が、mとnを3以上の互いに素である整数として、m:nである2つの異なる矩形波成分を合成した単色矩形波格子を物体に投影するステップと、この単色矩形波格子全体の周期の1/(m×n)ずつずらしてm×n枚の画像を撮影するステップと、前記m×n枚の画像のうちm枚おきに抜き出したn枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求め、n枚おきに抜き出したm枚の画像から周期がm/(m×n)の矩形波成分に関する位相分布を求めるステップと、前記双方の矩形波成分に関する位相分布から前記物体の高さ分布に対応する連続化された位相分布を得るステップとを含むことを特徴とする形状測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/25
, G01J 9/00
G01J 9/00
, G01B 11/24 A
, G01B 11/24 E
2F065AA51
, 2F065DD03
, 2F065FF08
, 2F065FF42
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL41
, 2F065QQ00
, 2F065QQ14
