特許

J-GLOBAL ID：200903053224618451

ミラー及び照明光学装置

発明者： 古田 正寛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-068853
公開番号（公開出願番号）：特開2005-259949
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】 光線の照射によりミラーに生じた熱を効率的に放熱可能で安価なEUV光用のミラー及び当該ミラーを用いた照明光学装置、露光装置を提供する。【手段】 波長60nm以下のEUV光を反射する斜入射型ミラーにおいて、前記ミラーが基板と反射膜から構成されており、前記基板を構成する材料よりも、前記反射膜を構成する材料の方が、前記EUV光における反射率が高く、かつ、前記基板を構成する材料の方が、前記反射膜を構成する材料よりも、熱伝導率が高いことを特徴とするミラーである。これによりEUV領域において安価で放熱効果の高い斜入射ミラーとすることができ、熱によるミラー面の形状変化をできる限り防ぐことができる。このミラーを搭載した照明光学装置並びに露光装置では、長時間使用した場合であっても照明条件並びに露光条件の変化が少なく長時間安定した使用が可能となる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源からの光を反射するミラーにおいて、 前記ミラーが少なくとも基板と反射膜から構成されており、 前記光源からの光について、前記基板を構成する材料よりも、前記反射膜を構成する材料の方が、反射率が高く、かつ、 前記基板を構成する材料の方が、前記反射膜を構成する材料よりも、熱伝導率が高いことを特徴とするミラー。

IPC (5件)：

H01L21/027 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  G21K1/06

FI (6件)：

H01L21/30 531A ,  G02B5/08 A ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/207 H ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C

Fターム (19件)：

2H042DA01 ,  2H042DA10 ,  2H042DB00 ,  2H042DB06 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00 ,  2H097AA02 ,  2H097BA02 ,  2H097CA13 ,  2H097CA15 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046DA26 ,  5F046GA03 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• リソグラフィ投影装置に使用するための積分導波管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-164090   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ