特許
J-GLOBAL ID：200903053325496756

セラミックキャピラリリブの形成方法及びこれに用いるペースト並びにブレード

発明者：
黒光 祥郎

黒光 祥郎 について

, 
神田 義雄

神田 義雄 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-316013
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283497
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 少ない工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良くセラミックキャピラリリブを形成する。【解決手段】 ペーストを基板10表面に塗布してペースト膜11を形成し、ブレード12周辺の少なくとも一部に形成されたくし歯12bをペースト膜11につき刺した状態でブレード12又は基板10を一定方向に移動させ、基板表面にセラミックキャピラリリブ13を形成する。ペーストがガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末30〜95重量%と有機バインダ0.3〜15重量%と、溶剤と可塑剤と分散剤3〜70重量%を含み、基板上のセラミックリブは、アスペクト比が2〜10であることが好ましい。ブレードのピッチP隙間w深さh野関係は0.03mm≦h≦1.0mmでありw/P≦0.9が良く、基板表面から浮上させれば絶縁層上にリブを形成できる。
請求項（抜粋）：
ペーストを基板(10)表面に塗布してペースト膜(11)を形成し、ブレード(12)周辺の少なくとも一部に形成されたくし歯(12b)を前記ペースト膜(11)につき刺した状態で前記ブレード(12)又は前記基板(10)を一定方向に移動することにより前記基板(10)表面にセラミックキャピラリリブ(13)を形成する方法。
IPC (2件)：
H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (2件)：
H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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