特許

J-GLOBAL ID：200903053341273406

オゾン発生装置

発明者： 梶 成彦 ,  中野 裕 ,  中田 錬平 ,  原田 稔 ,  新荘 良一 ,  辻村 学
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-117068
公開番号（公開出願番号）：特開平9-002807
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【課題】 発生するオゾンガス中のCr化合物の量を短時間で大幅に低減できるオゾン発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 原料ガスを供給すると共に高電圧源から高電圧を印加し、オゾンガスを発生するオゾン発生セル11及び発生したオゾンガスを送出するオゾンガス送出路を具備するオゾン発生装置10において、オゾン発生セル11以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分には、ドライプロセスで酸化不動態皮膜処理された材料を使用する。

請求項（抜粋）：

原料ガスを供給すると共に高電圧源から高電圧を印加し、オゾンガスを発生するオゾン発生セル及び発生したオゾンガスを送出するオゾンガス送出路を具備するオゾン発生装置において、前記オゾン発生セル以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分には、ドライプロセスで酸化不動態皮膜処理された材料を使用することを特徴とするオゾン発生装置。

IPC (2件)：

C01B 13/11 ,  C23C 8/14

FI (2件)：

C01B 13/11 J ,  C23C 8/14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• オゾン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224150   出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社東芝
• 特開平3-174301
  
• 特開平1-282104