固体撮像素子およびこれを用いたカメラシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-077376
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267543
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】画素単位で感度に違いを持たせるために、NDフィルタが有る画素と無い画素とを形成した場合、NDフィルタが有る画素と無い画素との間にNDフィルタの厚さ分の段差が生じるため、その上にオンチップにて配するカラーフィルタやマイクロレンズの形成が難しくなる。【解決手段】センサ部12の各々に画素単位で感度に違いを持たせ、入射光量の差に対応した撮像信号を例えばライン単位で交互に得る構成のCCD撮像素子において、入射光量を落とす第2の光学フィルタ26を画素単位で配するだけでなく、当該光学フィルタ26が配されない画素に対しては入射光をほぼ100%の透過率で通過させる第1の光学フィルタ25を配し、これら光学フィルタ層の上面の平坦化を図る。

請求項（抜粋）：

基体の表層部に形成されて光電変換をなす複数個のセンサ部と、前記複数個のセンサ部のうちの所定のセンサ部上に形成され、入射光をほぼ100%の透過率で通過させる第1の光学フィルタと、前記所定のセンサ部以外のセンサ部上に形成され、入射光を前記第1の光学フィルタよりも低い透過率で通過させる第2の光学フィルタとを備えたことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (5件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148 , H01L 31/0232 , H04N 5/335 , H04N 9/07

FI (6件)：

H04N 5/335 V , H04N 9/07 A , H04N 9/07 D , H01L 27/14 D , H01L 27/14 B , H01L 31/02 D

Fターム (32件)：

4M118AA02 , 4M118AB01 , 4M118BA13 , 4M118CA03 , 4M118CA40 , 4M118DB06 , 4M118DB08 , 4M118FA06 , 4M118GB11 , 4M118GC08 , 4M118GC09 , 4M118GC15 , 4M118GC17 , 4M118GC20 , 4M118GD04 , 5C024AX01 , 5C024CX43 , 5C024EX43 , 5C024EX51 , 5C024GX02 , 5C024GY01 , 5C065AA04 , 5C065BB42 , 5C065CC01 , 5C065DD02 , 5C065EE03 , 5C065EE08 , 5C065EE09 , 5F088BB03 , 5F088BB10 , 5F088JA11 , 5F088JA13

引用特許：

出願人引用 (7件)

固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-035594 出願人：日本電気株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087387 出願人：ソニー株式会社
特開昭56-051183

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審査官引用 (7件)

固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-035594 出願人：日本電気株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-087387 出願人：ソニー株式会社
特開昭56-051183

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