特許

J-GLOBAL ID：200903053405133077

耐食性部材

発明者： 高坂 祥二 ,  松之迫 等 ,  伊東 裕見子 ,  中原 正博
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308292
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129388
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】ハロゲン系腐食性ガスやそのプラズマに対して優れた耐食性と同時にパーティクルの発生が少ない耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム質焼結体を母材とし、該母材の少なくともハロゲン系腐食性ガス、あるいはそのプラズマに曝される表面に、化学気相成長法あるいは物理気相成長法によって周期律表第3a族元素(RE)含有酸化物、例えば、RE2 O3 、3RE2 O3 ・5Al2 O3 、2RE2 O3 -Al2 O3 で表されるような酸化物膜を1〜100μmの厚さで形成する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム焼結体を母材とし、該母材の少なくともハロゲン系腐食性ガス、あるいはそのプラズマに曝される表面に、周期律表第3a族元素含有酸化物膜を形成したことを特徴とする耐食性部材。

IPC (4件)：

C22C 29/16 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

C22C 29/16 H ,  C23C 14/08 J ,  C23C 16/40 ,  H01L 21/302 B

Fターム (20件)：

4K029AA04 ,  4K029BA43 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K030BA42 ,  4K030BA55 ,  4K030CA05 ,  4K030FA10 ,  5F004AA06 ,  5F004BA03 ,  5F004BB20 ,  5F004BB21 ,  5F004BB29 ,  5F004BD03 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DB12 ,  5F004DB13 ,  5F004DB14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造用サセプタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227459   出願人：京セラ株式会社
• アルミナ質焼結体およびその製造方法、並びに耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-274045   出願人：京セラ株式会社