特許

J-GLOBAL ID：200903053415604353

赤外線センサ

発明者： 藤井 英俊 ,  久保 竜一 ,  坂野 究 ,  牛見 義光
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-158553
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344155
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】熱電変換部などに対する保護膜からの応力の緩和を図ることのできる赤外線センサ赤外線センサを提供する。【解決手段】熱を電気に変換する熱電変換部5と、前記熱電変換部5を覆って当該熱電変換部5を保護する保護膜6と、を含み、前記保護膜6は、引張応力を有する膜6aと、圧縮応力を有する膜6bとがそれぞれ少なくとも一層以上積層形成されて、全体的な応力が調整されている。保護膜の少なくとも一層は、蒸着で形成される。圧縮応力を有する膜は、酸化珪素を主材とする膜とされる。引張応力を有する膜は、酸化アルミニウムを主材とする膜とされる。

請求項（抜粋）：

熱を電気に変換する熱電変換部と、前記熱電変換部を覆って当該熱電変換部を保護する保護膜と、を含み、前記保護膜は、引張応力を有する膜と、圧縮応力を有する膜とがそれぞれ少なくとも一層以上積層形成されて、全体的な応力が調整されていることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  H01L 35/32 ,  H01L 35/34 ,  H01L 37/02

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  H01L 35/32 A ,  H01L 35/34 ,  H01L 37/02

Fターム (4件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065CA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• サーモパイル型赤外線センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-078021   出願人：石塚電子株式会社
• 赤外線センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-106502   出願人：株式会社村田製作所