特許

J-GLOBAL ID：200903024289192532

赤外線センサ

発明者： 井上 和裕
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106502
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298061
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【発明の目的】 安価なコストで製造することができ、しかも高感度で耐久性を有する赤外線センサを提供する。【解決手段】 空洞部23を有するヒートシンク部22の上に熱酸化によりSiO2膜25を形成し、SiO2膜25の上に電子ビーム蒸着法でMgF2膜(フッ化物系絶縁膜26)を形成する。こうして空洞部23の上に、SiO2膜25とMgF2膜とからなる熱絶縁薄膜24を張った後、熱絶縁薄膜24の上に熱電変換素子27及び赤外線吸収層29を設ける。

請求項（抜粋）：

熱絶縁薄膜をヒートシンク部により支持し、当該熱絶縁薄膜の上に熱型赤外線検知素子を設けた赤外線センサであって、前記熱絶縁薄膜は、IIa族元素のフッ化物を主成分とする絶縁膜と、酸化シリコン膜とを有することを特徴とする赤外線センサ。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 35/32

FI (6件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 B ,  G01J 1/02 Y ,  G01J 5/02 A ,  H01L 35/32 A ,  H01L 27/14 K

Fターム (12件)：

2G066BA05 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BB09 ,  4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118CA14 ,  4M118CA16 ,  4M118CA32 ,  4M118CA35 ,  4M118CB14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-248477
  
• サーモパイル型赤外線センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-060915   出願人：シチズン時計株式会社
• 多層膜光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-355899   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平3-248477