特許
J-GLOBAL ID：200903053425492766

共振器の製造方法

発明者：
リチャード・シー・ルビー

リチャード・シー・ルビー について

, 
ポール・ディー・ブラッドリー

ポール・ディー・ブラッドリー について

, 
ジョン・ディー・ラーソン・サード

ジョン・ディー・ラーソン・サード について


出願人/特許権者：
アジレント・テクノロジーズ・インク

アジレント・テクノロジーズ・インク について


代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057362
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299980
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：
【要約】【課題】同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組立てる。【解決手段】基板(102)上に共振器(110)を製造するため、底部負荷電極(113)を作り、前記底部負荷電極(113)上に底部コア電極(112)を作り、圧電(PZ)層(104)を作り、前記PZ層(104)上に表面電極(116)を作るようにした。
請求項（抜粋）：
基板上に共振器を製造する方法において、底部負荷電極を作り、前記底部負荷電極上に底部コア電極を作り、圧電(PZ)層を作り、前記PZ層上に表面電極を作るようにした共振器の製造方法。
IPC (2件)：
H03H 3/02 ,  H01L 41/22
FI (3件)：
H03H 3/02 C ,  H03H 3/02 E ,  H01L 41/22 Z
Fターム (2件)：
5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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