特許
J-GLOBAL ID:200903053458990524

薄膜状熱電変換材料及びその形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-071311
公開番号(公開出願番号):特開2004-281726
出願日: 2003年03月17日
公開日(公表日): 2004年10月07日
要約:
【課題】各種の基板上に熱電変換材料の薄膜を形成でき、しかも、形成される複合酸化物が良好な熱電変換性能を有するものとなる、新規な薄膜状熱電変換材料の形成方法を提供する。【解決手段】Bi含有物、Pb含有物、Sr含有物、Ca含有物及びCo含有物の混合物又は該混合物の焼成物を原料として用い、気相蒸着法によって、一般式:Bi1.6〜2.2Pb0〜0.25Sr1.1〜2.2Ca0〜0.8Co2O9-x(0≦x≦1)で表される複合酸化物を基板上に堆積させた後、600〜740°Cで熱処理を行うことを特徴とする薄膜状熱電変換材料の形成方法、及び該形成方法によって得られる、低熱伝導率の基板上に上記複合酸化物薄膜を形成してなる薄膜状熱電変換材料。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一般式:Bi1.6〜2.2Pb0〜0.25Sr1.1〜2.2Ca0〜0.8Co2O9-x(0≦x≦1)で表される複合酸化物の薄膜を、基板(但し、単結晶基板を除く)上に形成してなる薄膜状熱電変換材料。
IPC (2件):
H01L35/22 ,  H01L35/34
FI (2件):
H01L35/22 ,  H01L35/34

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