特許

J-GLOBAL ID：200903053462423987

共振器の励起周波数の最適化

発明者： アニュレイ, アンドレ ,  ヌーヴェル, クレマン ,  クイヨー, ジュリアン
出願人/特許権者： ルノー エス.アー.エス
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-545055
公開番号（公開出願番号）：特表2009-519570
出願日： 2006年12月05日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：

本発明は、無線周波数プラズマ発生器の電源装置であって、最適指令周波数決定要求の受信インターフェースと、プラズマ発生用共振器に接続するための出力インターフェースと、出力インターフェースに規定周波数で電圧を印加するように構成された電源モジュール(2)であって、この電圧が、その周波数に応じて、選択的に、前記発生器の電源周波数の最適化段階で要求を受け取ったときには共振器のプラズマ発生を可能にできず、また、前記発生器の動作段階では共振器のプラズマ発生を可能にできるものである電源モジュール(2)と、共振器電源の電気測定量の受信インターフェースと、要求を受け取ったときに電源モジュール(2)に様々な規定周波数を順次供給するように、また、受信インターフェースが受け取った電気測定量に応じて最適指令周波数を決定するように構成された最適指令周波数決定モジュール(7)とを備えることを特徴とする電源装置に関する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

無線周波数プラズマ発生器の電源装置であって、 最適指令周波数決定要求の受信インターフェースと、 プラズマ発生用共振器に接続するための出力インターフェースと、 前記出力インターフェースに規定周波数で電圧を印加するように構成された電源モジュール(2)であって、この電圧が、その周波数に応じて、選択的に、前記発生器の電源周波数の最適化段階で要求を受け取ったときには前記共振器のプラズマ発生を可能にできず、また、前記発生器の動作段階では前記共振器のプラズマ発生を可能にできるものである電源モジュール(2)と、 共振器電源の電気測定量の受信インターフェースと、 要求を受け取ったときに電源モジュール(2)に様々な規定周波数を順次供給するように、また、前記受信インターフェースが受け取った電気測定量に応じて最適指令周波数を決定するように構成された最適指令周波数決定モジュール(7)と、 を備えることを特徴とする電源装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  H05H 1/24 ,  F02P 3/01

FI (3件)：

H05H1/46 R ,  H05H1/24 ,  F02P3/01 J

Fターム (7件)：

3G019BA03 ,  3G019CA11 ,  3G019CA13 ,  3G019DB07 ,  3G019DC07 ,  3G019EB00 ,  3G019GA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 内燃機関点火装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-024804   出願人：株式会社テクノバ
• プラズマ処理装置の性能評価方法、保守方法、及び性能管理システム、並びにプラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の性能確認システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-289489   出願人：アルプス電気株式会社, 大見忠弘
• 放電プラズマ発生用高周波電源装置及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-318998   出願人：パール工業株式会社
• 真空処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-222788   出願人：キヤノン株式会社