特許

J-GLOBAL ID：200903053490998367

気体処理ユニット

発明者： 手錢 永充
出願人/特許権者： エスペック株式会社
代理人 (4件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎 ,  玉串 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-141428
公開番号（公開出願番号）：特開2008-298301
出願日： 2007年05月29日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】送風機や加熱器などの電気機器が故障しても迅速に対処することができる気体処理ユニットを提供する。【解決手段】熱処理室11に被熱処理物Wが出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室11に共に連通する気体導入部12および気体導出部13を有する熱処理ユニット10に対して付設される気体処理ユニット20Aであって、気体導入部12に第1接続部(14、25)を介して着脱可能に連結される導入ダクト22、および気体導出部13に第2接続部(15、26)を介して着脱可能に連結される導出ダクト23を有し、気体導入部12へ熱処理用気体を導入しかつ気体導出部13から熱処理済みの気体を導出するための気体通路21Aと、熱処理済みの気体に含まれる、被熱処理物Wから発生した昇華物を分解するための触媒30と、少なくとも触媒30を加熱する加熱器31と、熱処理用気体および熱処理済みの気体を所定方向に導く送風機32とを具備する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理ユニットに対して付設される気体処理ユニットであって、 前記気体導入部に第1接続部を介して着脱可能に連結される導入ダクト、および前記気体導出部に第2接続部を介して着脱可能に連結される導出ダクトを有し、前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路と、 前記熱処理済みの気体に含まれる、前記被熱処理物から発生した昇華物を分解するための触媒と、 少なくとも該触媒を加熱する加熱器と、 前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く1または2以上の送風機とを具備することを特徴とする気体処理ユニット。

IPC (4件)：

F27D 7/06 ,  F27D 17/00 ,  F27D 7/04 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

F27D7/06 Z ,  F27D17/00 104G ,  F27D7/04 ,  H01L21/30 567

Fターム (13件)：

4K056AA09 ,  4K056CA18 ,  4K056DB02 ,  4K056DB03 ,  4K056DB07 ,  4K063AA05 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063CA05 ,  4K063DA24 ,  4K063DA26 ,  5F046KA05 ,  5F046KA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 昇華物対策付き熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-317119   出願人：タバイエスペック株式会社