特許
J-GLOBAL ID：200903053511337471
走査型投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352242
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172901
出願日： 1996年12月11日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 投影光学系の結像位置を高精度に検出し、レチクル面上のパターンを投影光学系によりウエハ面上に高い光学性能を有して走査投影することのできる走査型投影露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 第1可動ステージに載置した第1物体面上のパターンを投影光学系により第2可動ステージに載置した第2物体面上に走査手段により双方を同期させて走査投影露光する際、該投影光学系による該第1物体の像面位置を計測する検出手段、該第1可動ステージを走査しながら該検出手段で計測した該像面位置を該第1可動ステージの各走査位置における該像面位置に関する補正値として記憶する記憶手段とを有し、該走査投影露光する際に該記憶手段に記憶した補正値を利用して、駆動手段で該第2物体をフォーカス方向に駆動させて該像面位置に設定していること。
請求項（抜粋）：
第1可動ステージに載置した第1物体面上のパターンを投影光学系により第2可動ステージに載置した第2物体面上に走査手段により該第1,第2可動ステージを該投影光学系の撮影倍率に対応させた速度比で同期させて走査投影露光する走査型投影露光装置において、該投影光学系による該第1物体の像面位置を計測する検出手段、該第1可動ステージを走査しながら該検出手段で計測した該像面位置を該第1可動ステージの各走査位置における該像面位置に関する補正値として記憶する記憶手段とを有し、該走査投影露光する際に該記憶手段に記憶した補正値を利用して、駆動手段で該第2物体をフォーカス方向に駆動させて該像面位置に設定していることを特徴とする走査型投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 526 A
