特許
J-GLOBAL ID:200903053511337889
有機薄膜トランジスタ、この製造方法及びこれを利用した表示装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 朝日 伸光
, 三山 勝巳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-340842
公開番号(公開出願番号):特開2007-288130
出願日: 2006年12月19日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】有機薄膜トランジスタ及びこの製造方法、並びにこれを利用した表示装置を提供する。【解決手段】本発明の有機薄膜トランジスタは、ベース基板上に形成された酸化膜と、前記酸化膜上に配置され、第1ソース電極部及び第2ソース電極部を有するソース電極と、前記酸化膜上に配置され、第1ドレイン電極部及び前記第2ソース電極部と隣接するように配置された第2ドレイン電極部を有するドレイン電極と、前記第2ソース電極部及び前記第2ドレイン電極部を露出させる開口部を有する有機膜パターンと、導体または不導体の特性を有し、前記開口部を介して前記第2ソース電極部及び前記第2ドレイン電極部を電気的に接続する有機半導体パターンと、前記有機半導体パターンを覆うゲート絶縁膜と、前記有機半導体パターンと対応する前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ベース基板上に形成された酸化膜と、
前記酸化膜上に配置され、第1ソース電極部及び第2ソース電極部を有するソース電極と、
前記酸化膜上に配置され、第1ドレイン電極部及び前記第2ソース電極部と隣接するように配置された第2ドレイン電極部を有するドレイン電極と、
前記第2ソース電極部及び前記第2ドレイン電極部を露出させる開口部を有する有機膜パターンと、
導体または不導体の特性を有し、前記開口部を介して前記第2ソース電極部及び前記第2ドレイン電極部を電気的に接続する有機半導体パターンと、
前記有機半導体パターンを覆うゲート絶縁膜と、
前記有機半導体パターンと対応する前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と
を備えることを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
IPC (5件):
H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 51/05
, H01L 51/40
, G02F 1/136
FI (7件):
H01L29/78 618B
, H01L29/78 627C
, H01L29/78 618C
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 310K
, G02F1/1368
, H01L29/78 619B
Fターム (25件):
2H092JA25
, 2H092JB13
, 2H092JB38
, 2H092KA09
, 2H092MA19
, 2H092NA25
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110CC05
, 5F110DD01
, 5F110DD02
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110FF01
, 5F110FF27
, 5F110GG05
, 5F110GG06
, 5F110GG23
, 5F110GG57
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK33
, 5F110HK34
, 5F110NN72
, 5F110QQ01
引用特許:
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