特許
J-GLOBAL ID：200903053522493319
気相有機物の蒸着方法とこれを利用した気相有機物の蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-097183
公開番号（公開出願番号）：特開2003-293140
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 広い面積の基板に気相有機物を均一に蒸着させ、有機薄膜を高速に成膜させ、有機材料混合量の微細調整を可能とする。【課題手段】 気相有機物の蒸着装置は、内部空間に気相有機物を蒸着させる母材10を安着せしめる母材安着部140を備え、気相有機物を母材の安着部方向へ噴射する噴射部110と、1つ以上の保温ヒ-タ-130を含んで構成される蒸着チェンバ-100と、気相有機物を運搬する運搬ガスが引き込まれるよう穴形状に形成された1つ以上の運搬ガス引込ホ-ルと、有機物蒸気及び運搬ガスが引き出されうるよう穴形状に形成された1つ以上の気相有機物の引出ホ-ルを備えており、有機物を貯蔵できるるつぼ220と、るつぼ内を加熱する有機物加熱ヒ-タ-を内部に含む1つ以上の有機物チェンバ-200と、有機物チェンバ-内に引き込まれる運搬ガス量と流速を制御する流量制御部400と、有機物チェンバ-内の気相有機物が噴射部に移動できる気相有機物の移送管210と、真空ポンプ150とを含んで構成される。
請求項（抜粋）：
外部と隔離される内部空間を備えており、該内部空間の床面に気相有機物を蒸着させる母材を安着せしめる母材安着部を備え、該母材安着部の上端に位置されて気相有機物を前記母材の安着部方向へ噴射する噴射部と、上端壁面及び側壁面内に熱を発散する1つ以上の保温ヒ-タ-を含んで構成される蒸着チェンバ-と、気相有機物を運搬する運搬ガスが引き込まれるよう穴形状に形成された1つ以上の運搬ガス引込ホ-ルと、有機物蒸気及び運搬ガスが引き出されうるよう穴形状に形成された1つ以上の気相有機物の引出ホ-ルを備えており、耐熱材の材質で有機物を貯蔵できるよう、内部空間を備える形状に形成されたるつぼと、該るつぼの外部を囲繞しており、有機物が蒸発される温度まで前記るつぼ内を加熱する有機物加熱ヒ-タ-を内部に含む1つ以上の有機物チェンバ-と、 前記運搬ガスの引込ホ-ルに連結されて前記有機物チェンバ-内に引き込まれる運搬ガス量と流速を制御する流量制御部と、前記蒸着チェンバ-及び有機物チェンバ-を貫通するように形成されており、前記有機物チェンバ-内の気相有機物が前記噴射部に移動できるよう管形状からなる気相有機物の移送管と、前記蒸着チェンバ-の内部圧力を低める真空ポンプとを含んで構成されることを特徴とする気相有機物の蒸着装置。
IPC (2件)：
C23C 16/448
, C23C 16/455
C23C 16/448
, C23C 16/455
4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030AA18
, 4K030EA01
, 4K030EA03
, 4K030EA04
, 4K030FA10
, 4K030KA25
