永久磁石装置を備えたカソ-ドを有するスパッタリング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224088
公開番号（公開出願番号）：特開2000-096225
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】スパッタリングカソードのターゲットが特に高い耐用寿命を有しもしくは使用されるターゲット材料の高い活用性を可能にし、しかもスパッタリングカソードの磁石がカソードのための冷却媒体によって取り囲まれることがなく、高い成膜速度を有する被覆法に適しているようなスパッタリングカソードを提供する。【解決手段】両永久磁石列7,8相互間に、ヨーク9に適合された構造を有する、強磁性材料から成る挿入体10が設けられており、該挿入体の、ターゲット3とは離反した背面が、ターゲット3に向いた、永久磁石列7,8によって仕切られた、マグネットヨーク9の面に当て付けられており、U字形の挿入体10の両脚部が、それぞれ永久磁石列7,8に対して所定の間隔a,bを置いて、ターゲット3に向かう方向に延びている。

請求項（抜粋）：

永久磁石装置による磁気的な増強部を有するスパッタリング装置であって、永久磁石装置が、ターゲットの、スパッタリング面とは離反した側に配置されていて、磁界を生ぜしめるようになっており、該磁界の力線がスパッタリング面の上方に延び、かつ該スパッタリング面を貫通するようになっており、スパッタリング面によって少なくとも部分的に形成されたカソードと、該カソードの前に所定の間隔を置いて配置された、電界を形成するためのアノードとが設けられており、永久磁石装置が、それぞれそれ自体閉じられて互いに同軸的に配置された、円形または楕円形の個別磁石(5,5′,...,6,6′...)の2つの列(7,8)から形成されており、該個別磁石列がヨーク(9)を介して互いに結合されている形式のものにおいて、両永久磁石列(7,8)相互間に、ヨーク(9)に適合された構造を有する、強磁性材料から成る挿入体(10)が設けられており、該挿入体の、ターゲット(3)とは離反した背面が、ターゲット(3)に向いた、永久磁石列(7,8)によって仕切られた、マグネットヨーク(9)の面に当て付けられており、U字形の挿入体(10)の両脚部が、それぞれ永久磁石列(7,8)に対して所定の間隔(a,b)を置いて、ターゲット(3)に向かう方向に延びていることを特徴とする、永久磁石装置を有するカソードを備えたスパッタリング装置。

IPC (3件)：

C23C 14/35 , C23C 14/34 , H01J 37/34

FI (3件)：

C23C 14/35 A , C23C 14/34 B , H01J 37/34

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平4-235277
特開昭59-200763
特開昭63-157866

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審査官引用 (7件)

特開平4-235277
特開昭59-200763
特開昭63-157866

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