ラングカメラ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-307302
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140096
出願日： 1993年11月13日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】測定対象である大型の単結晶ウェーハの着脱及びセッティング作業を容易に行うことができるラングカメラを提供する。【構成】 X線源1、単結晶ウェーハ11、蛍光板15は順に上下方向に配置される。単結晶ウェーハ11及び蛍光板15は試料ステージ13に支持され、パルスモータ20によって駆動されて水平横方向(矢印A-A’)に平行移動する。この移動によりウェーハ11の全面がX線によって走査され、そのときの回折X線像がテレビカメラ18によって撮影される。撮影された映像に基づいて単結晶ウェーハ11の内部結晶構造等が判定される。試料ステージ13の前後領域にはラングカメラの構成部品がないので、測定者は試料ステージ13に接近してウェーハ11の着脱等ができる。ウェーハ11は単に水平に置くだけでよい。

請求項（抜粋）：

X線源からX線ビームを放射し、試料及びX線照射体を一体状態でX線ビームを横切る方向へ移動させながら試料にX線を照射し、その試料で回折したX線をX線照射体に照射することによってそのX線照射体上に回折X線像を撮影するラングカメラにおいて、上方位置から順にX線源、試料、そしてX線照射体が上下方向に沿って配置されており、さらに試料及びX線照射体を一体に且つ水平に保持すると共に水平方向へ往復直線移動する試料ステージを有することを特徴とするラングカメラ。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭47-008743
特開平4-110645
特開昭52-074381

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