自動焦点合わせ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234761
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096738
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【構成】試料高さを求めて、この高さに焦点が合うように電磁レンズに励磁電流を設定する自動焦点合わせ装置において、正焦点に励磁する対物電流を流す前に、磁場が飽和する電流を正と負に流すことで、必ず一定の磁気履歴を通す処理を行い、この処理をステージ移動中に行う。また飽和電流の代わりに、システムが制御し得る最大と最小の電流でも良い。また、高さ検出,電磁レンズの励磁電流設定をステージ停止直前に完了する。【効果】自動焦点合わせ実行時、同一の履歴を持たすことができるため、対物電流と磁場間に一対一関係が成立し、高精度化が図れる。

請求項（抜粋）：

プローブ光を試料表面に照射し、反射光の位置から試料高さを求める高さ検出装置を用いて検出した高さから、電磁コイルを用いた対物レンズに対してあらかじめ控えておいたテーブルあるいは近似式から適当な励磁電流を求めて焦点合わせを行う自動焦点合わせ装置において、適当な電流を設定する前に、必ず前記対物レンズの磁場が飽和する電流を正側と負側に流す処理を行うことで、同一電流値での磁場の再現性を良好にすることを特徴とする自動焦点合わせ装置。

引用特許：

審査官引用 (19件)

特開平3-252035
特開平3-252035
特開平1-255142

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