ガスセンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-359631
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201628
出願日： 1992年12月26日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】加熱体の熱効率を上げること。【構成】第1支持基板2上に接着剤3で第2支持基板4を取着し、第2支持基板4上に加熱体6を取着し、加熱体6上に樹脂を介して絶縁体8を取着し、絶縁体8上に一対の電極9,10及びガス感応膜11を取着したガスセンサ1において、第1支持基板2上面に凹部2aを形成し、且つ、第2支持部材4の下面に前記凹部2aに面して金属膜5を取着した。この構成によれば、凹部2aを形成したことにより加熱体6から下方に輻射される不要な熱が第1支持基板2に伝わりにくくなり、金属膜5を取着したことにより加熱体6の熱が反射され、ガス感応膜11を効率よく熱するため消費電力の低減及び熱の応答時間の短縮を図ることができる。

請求項（抜粋）：

第1支持基板上に加熱体を取着し、この加熱体上に絶縁体及び一対の電極を備えたガス感応膜を取着したガスセンサにおいて、前記加熱体の取着部分に当たる前記第1支持基板の上面に凹部を形成するとともに、前記第1支持基板と前記加熱体との間に第2支持基板を挟着したことを特徴とするガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭61-125157
特開平3-233350
ガスセンサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-048946 出願人：富士電機株式会社

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