特許

J-GLOBAL ID：200903053573527838

多室熱処理炉

発明者： 丸井戸 茂樹 ,  橋本 弘文 ,  山田 春美 ,  前田 修一
出願人/特許権者： 光洋リンドバーグ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-340784
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178535
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】設備コストが安価で、構成部分の利用効率が高く、占有床面積が小さく、且つ被処理物の負荷変動に対して柔軟に対応できる多品種少量生産に好適な熱処理炉を提供する。【構成】複数の処理室と、被処理の物装入・装出を行うための真空パージ可能な前室と、垂直軸の回りに回転可能で処理室または前室とのあいだで被処理物を搬送するための主搬送手段を収容した主搬送室とを含み、前記複数の処理室および前室を、前記主搬送室に対して前記垂直回転軸と同軸の同一円筒面に周接するように配された接続口に対し、それぞれ置換可能に並列的に連結配置したことを特徴とする多室熱処理炉。

請求項（抜粋）：

複数の処理室と、被処理物の装入・装出を行うための真空パージ可能な前室と、垂直軸の回りに回転可能で処理室または前室とのあいだで被処理物を搬送するための主搬送手段を収容した主搬送室とを含み、前記複数の処理室および前室を、前記主搬送室に対して前記垂直回転軸と同軸の同一円筒面に周接するように配された接続口に対し、それぞれ置換可能に並列的に連結配置したことを特徴とする多室熱処理炉。

IPC (3件)：

F27B 5/02 ,  F27B 5/04 ,  F27B 5/12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 改良されたスループットを有する真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-008703   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド