特許
J-GLOBAL ID：200903053585255566
感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-124026
公開番号（公開出願番号）：特開2004-326024
出願日： 2003年04月28日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】充分な機械強度を有しつつ、耐熱性に優れ、さらに加工性、接着性に優れ、製造工程の簡潔化が可能で、イミド化が不要な感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト並びにその利用方法を提供する。【解決手段】必須成分として、(A)感光性イミド(メタ)アクリルシロキサンオリゴマーおよび(B)不飽和二重結合を2個以上有する(メタ)アクリル系化合物を含んでおり、上記(A)感光性イミド(メタ)アクリルシロキサンオリゴマー100重量部に対して、上記(B)(メタ)アクリル系化合物を5〜200重量部の範囲内で含んでいる。さらに、(C)副成分として、難燃剤を含むことが好ましい。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
必須成分として、(A)感光性イミド(メタ)アクリルシロキサンオリゴマーおよび(B)不飽和二重結合を2個以上有する(メタ)アクリル系化合物を含んでおり、
上記(A)感光性イミド(メタ)アクリルシロキサンオリゴマー100重量部に対して、上記(B)(メタ)アクリル系化合物を5〜200重量部の範囲内で含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/075
, C08F290/14
, C08G73/10
, G03F7/004
, G03F7/027
G03F7/075 511
, C08F290/14
, C08G73/10
, G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, G03F7/027 515
2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC69
, 2H025BC78
, 2H025BC83
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025CA00
, 2H025CB30
, 2H025CC20
, 4J027AD03
, 4J027BA17
, 4J027BA19
, 4J027BA23
, 4J027BA24
, 4J027BA27
, 4J027BA28
, 4J027CB10
, 4J027CC02
, 4J027CC03
, 4J027CD10
, 4J043PA01
, 4J043PA04
, 4J043PA08
, 4J043PC065
, 4J043PC066
, 4J043QB15
, 4J043QB26
, 4J043RA05
, 4J043RA06
, 4J043RA34
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA62
, 4J043SA71
, 4J043SB02
, 4J043SB04
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043TB02
, 4J043UA022
, 4J043UA081
, 4J043UA082
, 4J043UA121
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA141
, 4J043UA151
, 4J043UA262
, 4J043UB011
, 4J043UB012
, 4J043UB021
, 4J043UB022
, 4J043UB061
, 4J043UB062
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB151
, 4J043UB162
, 4J043UB281
, 4J043UB291
, 4J043UB301
, 4J043UB351
, 4J043YA05
, 4J043YA06
, 4J043YA08
, 4J043YB08
, 4J043YB19
, 4J043YB29
, 4J043ZA02
, 4J043ZA06
, 4J043ZA12
, 4J043ZA23
, 4J043ZA31
, 4J043ZA46
, 4J043ZB22
, 4J043ZB47
, 4J043ZB50
