薄膜形成装置及びそれを用いた自発光装置の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027421
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291588
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】有機EL材料の塗布液を塗布する際に、塗布液の液切れを良くして効率的に塗布する手段を提供する。【解決手段】塗布液を塗布する際に成膜形成装置にヒーターもしくは超音波振動子を設けて、塗布液に熱や超音波振動を与える。これにより塗布液の液切れ不良や液詰まりを解決することができる。

請求項（抜粋）：

ヘッド部及びノズルを有する薄膜形成装置において、前記ヘッド部は超音波振動子を有し、前記ノズルにはEL層を形成する塗布液が充填されていることを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (9件)：

H05B 33/10 , B05B 17/06 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H05B 33/12 , H05B 33/14 , H05B 33/22

FI (9件)：

H05B 33/10 , B05B 17/06 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A , H05B 33/22 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

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