センサ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：牛久健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275046
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096552
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【目的】複数の物理量を同時に検出することができる小型のセンサ装置を提供する。【構成】センサ装置は,振動子1と,振動子1に高周波振動を印加するための加振装置2とを含む。振動子1は,振動部11と,加振装置2に固定される固定部12と,これらを連結する弾性変形部13から構成される。振動部11はZ軸に関して非対称な形状をしており,表面に吸湿性薄膜14が形成されている。これによって振動子1は曲げ変形モード(θB 方向)と,ねじれ変形モード(θT 方向)の2つの共振振動モードをもつ。ねじれ変形モードの共振周波数fT の変化から温度変化を検出し,曲げ変形モードの共振周波数fB の変化から湿度変化を検出し,共振振動の振動振幅の変化から圧力変化を検出する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの周波数において共振振動する振動子,上記振動子を加振する加振手段,上記加振手段によって加振された上記振動子の振動を,その振動を表わす電気信号に変換する振動検出手段,上記振動検出手段から得られる電気信号に基づいて,上記振動子の少なくとも二種類の別個の共振特性をそれぞれ表わす少なくとも二つの特性信号をつくる特性抽出手段,および上記特性抽出手段から得られる少なくとも二つの上記特性信号に基づいて少なくとも二つの物理量を表わす出力信号をつくる処理手段,を備えたセンサ装置。

IPC (8件)：

G01D 21/00 , G01D 21/02 , G01K 11/26 , G01L 9/00 , G01N 27/22 , G01P 15/09 , H01L 29/84 , H01L 41/08

FI (8件)：

G01D 21/00 G , G01D 21/02 , G01K 11/26 , G01L 9/00 C , G01N 27/22 Z , G01P 15/09 , H01L 29/84 Z , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

特公昭60-000611
特公平4-009451
特開平3-282349

前のページに戻る