ダイヤモンドの合成方法、合成装置および合成ダイヤモンド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内田明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130501
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330489
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】基板表面と合成ダイヤモンド間あるいは合成ダイヤモンド間の付着強度の大きい高品質の合成ダイヤモンドを提供する。【構成】炭化水素と水素との混合ガスを加熱された発熱体により予備加熱した後、該加熱混合ガスを加熱された基板表面に導入してダイヤモンド析出させる方法において、発熱体の炭化処理工程では発熱体と基板表面との距離をできるだけ離しておき、ダイヤモンド合成工程では発熱体と基板表面との距離をそれより近づけておくことを特徴とするダイヤモンド合成方法。

請求項（抜粋）：

炭化水素と水素との混合ガスを加熱された発熱体により予備加熱した後、該加熱混合ガスを加熱された基板表面に導入してダイヤモンド析出させる方法において、発熱体の炭化処理工程では発熱体と基板表面との距離をできるだけ離しておき、ダイヤモンド合成工程では発熱体と基板表面との距離をそれより近づけておくことを特徴とするダイヤモンド合成方法。

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平2-038399
特開昭62-202896
特開平4-254496

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審査官引用 (3件)

特開平2-038399
特開昭62-202896
特開平4-254496

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