特許
J-GLOBAL ID：200903053802925583
静電容量型センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022545
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211597
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 高感度な静電容量型センサを提供すること【解決手段】 下部ダイアフラム12付きの基板10と、上部ダイアフラム28付きの基板26とを絶縁層22,24を介して接合し、両ダイアフラムは、所定の間隔をおいて対向配置するとともに、その間に可動板16を配置する。可動板は、その両面中央部に設けた絶縁性の柱部14,30にてそれぞれ前記両ダイアフラムに接続され、ダイアフラムの変形にともない可動板も変位するようにしている。この時、可動板は、平板状を保持したまま移動する。これにより、面積の大きい可動板の周縁の方が変化量が大きくなる。可動板の両面には第2,第4電極21,32を設け、それに対向する基板の対向面に第1,第3電極20,31を形成し、その電極間に発生する静電容量に基づいてダイアフラムに加わる測定対象物理量を検出する。
請求項（抜粋）：
第1のダイアフラム付きの基板と、第2のダイアフラム付きの基板を接合し、前記第1のダイアフラムと前記第2のダイアフラムは、所定の間隔をおいて対向配置するとともに、それら両ダイアフラムの間に可動板を配置し、前記可動板は、その両面にてそれぞれ前記両ダイアフラムに絶縁状態で接続され、前記ダイアフラムの変形にともない前記可動板も変位するようにし、かつ、前記可動板の両面の少なくとも一方の面と、それに対向する基板の対向面に電極を形成し、その電極間に発生する静電容量に基づいて前記ダイアフラムに加わる測定対象物理量を検出するようにしたことを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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静電容量式圧力センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-179916
出願人：山武ハネウエル株式会社
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