特許

J-GLOBAL ID：200903099248644330

静電容量式圧力センサ

発明者： 木原 隆 ,  石倉 義之 ,  木村 重夫 ,  五所尾 康博
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-179916
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033372
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】 単純な構造で製作工数を大幅に削減でき、かつ小型化を容易する。また、小型化による性能劣化させることなく高性能を得る。【解決手段】 筒状の枠体11の両端部に、中央部分に薄肉ダイアフラム部12aを有し、周縁部分に厚肉固定部12bを有する蓋体12および同等の構造を有する蓋体13がその固定部12b,13bを密着させて対向配置され、蓋体12および蓋体13の固定部12b,13bの内面にそれぞれ固定電極18,20が形成され、ダイアフラム部12a,13aの対向面間には支柱15が連結され、蓋体12と蓋体13との間には固定電極18,20と間隙部を介して対向する電極支持板16が支柱15に支持固定され、電極支持板16の固定電極18,20と間隙部を介して対向する面に可動電極17,19が形成されて構成される。

請求項（抜粋）：

ほぼ筒状に形成されたダイアフラム支持体と、中央部分に薄肉部からなるダイアフラム部を有し、周縁部分に厚肉部からなる固定部を有し、前記ダイアフラム支持体の両端部を閉塞するように前記固定部を密着させて対向配置された第1の蓋体および第2の蓋体と、前記第1の蓋体および第2の蓋体の少なくとも一方の前記固定部内面に形成された固定電極と、前記第1の蓋体および第2の蓋体に形成されたダイアフラム部の対向面間に接続されかつ対向するダイアフラム部を一体に連結する支柱と、前記第1の蓋体と第2の蓋体との対向間に前記固定電極と間隙部を介して対向配置されかつ前記支柱に支持固定された電極支持板と、前記電極支持板の前記固定電極と間隙部を介して対向する少なくとも一方の面に形成された可動電極と、を備え、ダイアフラム支持体内は外部と隔離されるとともに可動電極と固定電極との間にコンデンサ構造を形成したことを特徴とする静電容量式圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電容量式圧力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-354982   出願人：山武ハネウエル株式会社