特許
J-GLOBAL ID:200903053879263117
光量検出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-128977
公開番号(公開出願番号):特開平11-329340
出願日: 1998年05月12日
公開日(公表日): 1999年11月30日
要約:
【要約】【課題】 光量検出のダイナミックレンジが広い光量検出装置を提供する。【解決手段】 光電子増倍管10のアノード電極12から出力された電流信号は電流電圧変換部30により電圧信号V1 に変換され、電圧信号V1 は比較部50により基準信号V0 と比較される。受光量が或る一定量以下のときには、比較部50により電圧信号V1 が基準電圧V0 より小さいと判断され、一定電圧が電源部60から光電子増倍管10に印加され、信号処理部80により電圧信号V1 に基づいて受光量が算出される。受光量が或る一定量以上のときには、比較部50により電圧信号V1 が基準電圧V0 より大きいと判断され、電圧信号V1 が基準電圧V0 が一致するよう調整された印加電圧が電源部60から光電子増倍管10に印加され、比較部50の出力信号がバッファ部70により増幅されて出力された電圧信号V2 に基づいて信号処理部80により受光量が算出される。
請求項(抜粋):
受光量に応じた個数の光電子を放出する光電陰極と、その光電子を増倍して2次電子を発生させるダイノードと、その2次電子の個数に応じた電流信号を出力するアノード電極とを有する光電子増倍管と、前記アノード電極から出力された前記電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換部と、前記電流電圧変換部から出力された前記電圧信号を基準電圧と比較する比較部と、前記比較部により前記電圧信号が前記基準電圧より小さいと判断されたときには、一定電圧を前記光電子増倍管の前記光電陰極および前記ダイノードそれぞれに印加し、そうでないときには、前記電圧信号が前記基準電圧と一致するよう調整された印加電圧を前記光電子増倍管の前記光電陰極および前記ダイノードそれぞれに印加する電源部と、前記電圧信号が前記基準電圧より小さいときには前記電圧信号に基づいて受光量を算出し、そうでないときには前記印加電圧に基づいて受光量を算出する信号処理部と、を備えることを特徴とする光量検出装置。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
審査官引用 (3件)
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光検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-222165
出願人:理学電機株式会社
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特開昭49-079575
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特表昭59-500018
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