特許

J-GLOBAL ID：200903053890182072

フローセンサ

発明者： 關 宏治 ,  図師 信彦 ,  池 信一 ,  中野 正志 ,  中田 太郎 ,  上運天 昭司
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-135283
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329697
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】 流体の圧力変化による流速または流量特性の変化が小さく、精度、再現性、信頼性および耐久性を向上させるとともに、部品点数を削減して製作し得るようにしたフローセンサを提供する。【解決手段】 流路形成部材22と、この流路形成部材22とともに流体2の流路3を形成するセンサチップ21とを備え、センサチップ21を基板24と流速検出手段25等で構成する。基板24は、厚肉の固定部24Aと、薄肉部24Bとからなり、固定部24Aが流路形成部材22に接合され、薄肉部24Bの流体2に接触する面とは反対側の面に電気絶縁膜13を介して流速検出手段25と周囲温度検出手段34が形成されている。

請求項（抜粋）：

流路形成部材とともに被測定流体の流路を形成する基板とからなるフローセンサにおいて、前記基板に、薄肉部と、この薄肉部を取り囲む厚肉の固定部とを一体形成し、前記薄肉部の流路側とは反対側の面に流速検出手段を設けたことを特徴とするフローセンサ。

IPC (2件)：

G01P 5/10 ,  G01F 1/684

FI (2件)：

G01P 5/10 Z ,  G01F 1/68 101 A

Fターム (2件)：

2F035EA05 ,  2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フローセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-316717   出願人：株式会社山武