特許
J-GLOBAL ID：200903029294308222
フローセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-316717
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122454
出願日： 2000年10月17日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】【課題】 ほとんどの腐食性流体に対応でき、応答性および感度を向上させることができるようにしたフローセンサを提供する。【解決手段】 表面4a側が被測定流体2の流路3に面する基板4と、この基板4を挟んで対向するように配設された流路形成部材5およびプレート6とで、フローセンサ1を構成する。基板4を板厚が50〜150μm程度のステンレスで板状に形成し、流路3側とは反対側の面4bに電気絶縁膜を形成し、その上に流体2の流速(流量)計測用の温度検出手段7、周囲温度センサ8、電極パッド9および配線用金属薄膜10を形成する。
請求項（抜粋）：
流体の流路の一部を形成する薄肉板状の基板と、この基板の流路側とは反対側の面に設けられた発熱体を含む温度検出手段とからなることを特徴とするフローセンサ。
FI (2件)：
G01F 1/68 101 A
, G01F 1/68 101 B
