特許
J-GLOBAL ID：200903053905849621
ワークの個片加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-354512
公開番号（公開出願番号）：特開2005-123283
出願日： 2003年10月15日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 ワークを切断位置に正確に位置合わせして移動させることにより、寸法精度の優れた個片を得るとともに、装置構成を簡素化する。【解決手段】 吸着ステージ10が、ワーク20の送り方向に可動に支持ステージ50に支持され、前記吸着ステージ10には、前記ワークが個片に切断される各々の領域に、ワークの送り方向のピッチ間隔でエア吸着孔12が設けられ、前記支持ステージ50には、ワークの送り方向の最前部に位置する個片となる領域をエア吸引するエア吸着孔12aに連通する第1のエア流路52と、ワークの残り領域をエア吸引するエア吸着孔が配置される範囲にわたり、前記吸着ステージに設けられたすべてのエア吸着孔12に連通する連通流路54aを有する第2のエア流路54とが設けられ、前記第1のエア流路52には、ワークを切断する際にはワークをエア吸引し、ワークを切断して得られた個片を移載する際にはエア吸引を停止するエア吸引機構56が接続され、前記第2のエア流路54には、ワークを常時エア吸引するエア吸引機構58が接続されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ワークを吸着ステージにエア吸着し、吸着ステージとともにワークをピッチ送りするとともに、ワークの送り先側の切断位置においてワークを切断して個片に形成するワークの個片加工装置であって、
前記吸着ステージが、ワークの送り方向に可動に支持ステージに支持されるとともに、支持ステージ上で前記個片の寸法に合わせた送り間隔でピッチ送りすべく設けられ、
前記吸着ステージには、前記ワークが個片に切断される各々の領域に、ワークの送り方向のピッチ間隔でエア吸着孔が貫通して設けられ、
前記支持ステージには、ワークの送り方向の最前部に位置する個片となる領域をエア吸引する前記吸着ステージに設けられたエア吸着孔に連通する第1のエア流路と、
ワークの残り領域をエア吸引するエア吸着孔が配置される範囲にわたり、前記吸着ステージに設けられたすべてのエア吸着孔に連通する連通流路を有する第2のエア流路とが設けられ、
前記第1のエア流路には、ワークを切断する際にはワークをエア吸引し、ワークを切断して得られた個片を移載する際にはエア吸引を停止するエア吸引機構が接続され、
前記第2のエア流路には、ワークを常時エア吸引するエア吸引機構が接続されていることを特徴とするワークの個片加工装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/78 N
, H01L21/68 E
, H01L21/68 P
5F031CA02
, 5F031CA13
, 5F031FA05
, 5F031FA07
, 5F031GA23
, 5F031HA14
, 5F031HA57
, 5F031KA06
, 5F031LA12
, 5F031MA34
, 5F031MA38
