マイクロ波集積回路装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182703
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036601
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】この発明は、最終的な調整作業が省略できて歩留まりの向上に結び付けられるようにするマイクロ波集積回路装置を提供することを課題とする。【解決手段】回路基板11上に搭載された能動素子12の両側に測定用ポート131 、132 を配置する。このポート131 、132 は、能動素子12に接続される線路201 、202 と接地導体211 〜214 を備え、それぞれプローブパッド221 、222 、231 〜234 を備える。測定用ポート131 、132 のそれぞれ外側には後工程で線路201 、202 に接続される主線路141 、142 が形成され、この主線路141 、142 にそれぞれ整合用スタブ151 、152 が接続されている。前記プローブパット221 、222 、231 〜234 にプローブを選択的に接触して能動素子12の特性を測定し、評価して整合用スタブ151 、152 の長さを調整し、最後の工程で線路201 、202 と主線路141 、142 とが伝送線路161 、162 でそれぞれ接続されるようにする。

請求項（抜粋）：

回路基板上に配置設定された能動素子と、この能動素子の両側に位置して前記回路基板上に配置設定された測定用ポートと、前記回路基板上に配置形成されて前記能動素子に接続されるようになる主線路と、この主線路に接続された状態で前記回路基板上に形成された後調整可能な整合手段とを具備し、前記測定用ポートには測定用プローブが選択的に接触されるパッドが形成され、このパッドに前記プローブを接触して前記能動素子を評価し前記整合手段を操作するもので、前記能動素子と前記主線路とは後工程で接続されるようにしたことを特徴とするマイクロ波集積回路装置。

IPC (4件)：

H01P 1/00 , H01P 3/08 , H01P 5/02 603 , G01S 7/03

FI (4件)：

H01P 1/00 D , H01P 3/08 , H01P 5/02 603 A , G01S 7/03 C

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-243871
集積回路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-051397 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (2件)

特開平3-243871
集積回路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-051397 出願人：日本電気株式会社

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