光ヘテロダイン干渉計測装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058287
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258058
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】本発明は、マッハツェンダ型干渉計を基本とすることで様々な方向の散乱光の計測を可能とし、しかも所望の被測定点の情報を高精度に抽出することのできる光ヘテロダイン干渉計測装置を提供する。【解決手段】第1のビームスップリタで光を二分し、二分した光を第2のビームスプリッタで合波するマッハツェンダ型干渉計を基本とし、物点Pを第1のレンズ11と第2のレンズ12によりピンホール板13のピンホールに結像する結像光学系を配置した。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源から出射された光を、測定対象である被測定体が配置される被測定体配置部を経由する光路を辿る第1の光と、該被測定体配置部を経由する光路とは異なる光路を辿る第2の光とに二分する第1のビームスプリッタと、前記第1の光の、前記被測定体配置部に到達するよりも前の光路部分、および第2の光の光路のうちの少なくとも一方に配置された、光の周波数をシフトさせることにより、該第1の光の周波数と該第2の光の周波数を相対的に異ならせる周波数シフタと、前記被測定体配置部に配置された被測定体内部の点を物点とし該物点の共役像点にピンホールが配置されてなる結像光学系と、前記結像光学系による物点と共役像点との間、あるいは該共役像点の後段側に配置され、該結像光学系を経由している途中もしくは該結像光学系を経由した後の前記第1の光に前記第2の光を合波する第2のビームスプリッタと、前記第2のビームスプリッタにより前記第1の光と前記第2の光が合波されてなる干渉光を受光する受光センサとを備えたことを特徴とする光ヘテロダイン干渉計測装置。

IPC (3件)：

G01J 9/04 , G01N 21/17 , G01N 21/27

FI (3件)：

G01J 9/04 , G01N 21/17 A , G01N 21/27 H

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-027844
特開昭63-306414
物体観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-119726 出願人：株式会社ニコン

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