特許

J-GLOBAL ID：200903054023496249

不活性閉塞基を有する重合体を含む感照射線性組成物

発明者： ジェイムズ・ダブリュ・サッカリー ,  ジョージ・ダブリュ・オースラ ,  マーク・ディ・デニソン ,  ロジャー・シンタ ,  シェリィ・エル・アブラザ
出願人/特許権者： シプレイ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー
代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-060477
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339086
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【課題】 高い規定度のアルカリ現像液を用いて、ミクロ橋かけを生ぜず、優れた解像力と感光速度を有するホトレジスト、およびそれに適する新規な重合体を提供する。【解決手段】 フェノール単位および場合によってはシクロヘキサノール単位を含む(共)重合体において、上記の単位の環上のヒドルキシル基の一部を、不活性な閉塞基で置換した共重合体;およびそれを高分子結合剤として用いたネガ型ホトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

一般式:【化1】および【化2】(式中、Zは、1〜3個の炭素原子を有するアルキレン架橋を表し;Aは、芳香族環上の置換基を表し;aは、0〜4の整数であり;Bは、環状アルコール環上の置換基を表し;bは、0〜6の整数であり;xは、フェノール単位のモル分率で0.50〜0.99の数であり;yは、シクロヘキサノール単位のモル分率で0〜0.50の数であり;x1 は、不活性閉塞基を有するフェノール単位のモル分率で0.01〜0.20の数であり;y1 は、不活性閉塞基を有するシクロヘキサノ-ル単位のモル分率で0〜0.20の数であり;-OGは、酸との反応に不活性な閉塞基を表す)からなる群より選ばれる一般式で示されるアルカリ可溶性重合体。

IPC (6件)：

G03F 7/038 505 ,  C08G 8/28 NBK ,  C08L 61/14 LNF ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/038 505 ,  C08G 8/28 NBK ,  C08L 61/14 LNF ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-136859
  
• 特開平4-136859
  
• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-115531   出願人：住友化学工業株式会社