特許
J-GLOBAL ID：200903054028499076
窒化アルミニウム焼結体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132362
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 酸化イットリウム等の焼結助剤を使用して180W/mk以上の高い熱伝動率を有する窒化アルミニウム焼結体を簡単にかつ確実に製造する方法を提供する。【構成】 焼結助剤を添加することなく成形された窒化アルミニウムのセッターS1 ,S2 の外表面に離型層Lを形成する。焼結助剤を含有する窒化アルミニウム製のグリーンシートGの周囲に各セッターS1 ,S2 を配置する。この状態で各セッターS1 ,S2 及びグリーンシートGをるつぼM内に配置してホットプレス焼成を施す。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウムを主成分とするとともに焼結助剤を含有するグリーンシート(G)を、窒化アルミニウムに焼結助剤を添加することなく成形されたセッター(S1 ,S2 )によって包囲した状態で焼成することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
, H05K 1/03
