特許

J-GLOBAL ID：200903054052025638

赤外線吸収膜と赤外線検知センサ

発明者： 細川 秀記 ,  藤塚 徳夫 ,  船橋 博文
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-244299
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057427
出願日： 2005年08月25日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：

【課題】 吸収能力の高い赤外線吸収膜を提供すること。【解決手段】 本発明の赤外線吸収膜20は、赤外線の入射側に配置されるNSG膜24と、NSG膜24の裏面24bに積層されているTiN膜28を備える。NSG膜24は、赤外線に対する吸収係数が5.78×103(cm-1)である。TiN膜28は、赤外線に対する吸収係数が8×104(cm-1)である。吸収係数が3.5×102〜2.2×105(cm-1)の範囲に含まれる上膜(NSG膜24)と、吸収係数が1.0×103〜2.2×105(cm-1)の範囲に含まれる下膜(TiN膜28)を組合せて赤外線吸収膜20を構成すると、吸収能力が非常に高い膜が得られる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

赤外線を吸収する膜であり、 赤外線の入射側に配置されている第1膜と、第1膜の射出側に積層されている第2膜を備えており、 赤外線の吸収係数が、第1膜では3.5×102〜2.2×105cm-1であり、第2膜では1.0×103〜2.2×105cm-1であり、第1膜のそれが第2膜のそれよりも小さいことを特徴とする赤外線吸収膜。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/12

FI (2件)：

G01J1/02 C ,  G01J5/12

Fターム (10件)：

2G065AB02 ,  2G065BA02 ,  2G065BA14 ,  2G065DA20 ,  2G066AC13 ,  2G066CA08 ,  2H048CA05 ,  2H048CA12 ,  2H048CA17 ,  2H048CA24

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 赤外線吸収体及びこれを用いた熱型赤外線検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-218165   出願人：株式会社ニコン
• 赤外線固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-012269   出願人：三菱電機株式会社