特許

J-GLOBAL ID：200903054052903783

金属酸化膜形成用塗布膜剥離液、剥離方法および基板の回収方法

発明者： 新掘 博 ,  谷津 克也 ,  中山 寿昌
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 服部 平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-148023
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304947
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】金属酸化膜形成用塗布膜の剥離が容易で、しかも該塗布膜の析出物の発生がなく、剥離液寿命を長く維持できる剥離液、剥離方法および剥離基板の回収方法を提供すること。【解決手段】有機アルカリ化合物を含有する溶液からなる金属酸化膜形成用塗膜剥離液、該剥離液で基板上に形成された金属酸化膜形成用塗膜を剥離する剥離方法および剥離して得られた基板を再使用する基板の回収方法。

請求項（抜粋）：

有機アルカリ化合物を含有することを特徴とする金属酸化膜形成用塗布膜剥離液。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/308 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 金属酸化物薄膜のパターン形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-281627   出願人：ローム株式会社
• 特開平2-010353
  
• 特開平2-090170