特許
J-GLOBAL ID:200903054074521310

研磨物品ならびに研磨物品の製造および使用の方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 青山 葆 ,  山本 宗雄 ,  西下 正石
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-582709
公開番号(公開出願番号):特表2005-521565
出願日: 2003年02月07日
公開日(公表日): 2005年07月21日
要約:
本発明は、研磨物品(22、122)と、その物品の使用および製造の方法と、を提供する。研磨物品は、研磨面(224)と、研磨物品に関連付けられ、その物品の研磨性能の態様を示す性能指標と、を備える。研磨適用において、性能指標を使用して、研磨物品(22、122)がワークピースを研磨する際の初期加工条件を確定する。研磨物品を作製する方法は、(a)研磨面(224)を有する研磨物品(22、122)を提供するステップと、(b)上に研磨可能面を有するワークピース(30、132)を提供するステップと、(c)既知の印加圧力および速度で研磨面(224)を研磨可能面に適用し、所定期間中、研磨物品(22、122)と研磨可能面とを相対的に移動させることにより、研磨可能面を研磨するステップと、(d)研磨するステップ(c)の間に、研磨物品の研磨性能に基づき性能指標を案出するステップと、(e)性能指標を研磨物品(22、122)に関連付けるステップと、を含む。
請求項(抜粋):
研磨物品であって、 研磨面と、 該研磨物品に関連付けられ、該物品の研磨性能の態様を示す、性能指標と、 を具備する研磨物品。
IPC (3件):
B24D7/02 ,  G06K19/00 ,  G06K19/06
FI (3件):
B24D7/02 B ,  G06K19/00 A ,  G06K19/00 Q
Fターム (8件):
3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA02 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063FF12 ,  5B035BB01 ,  5B035BC00
引用特許:
審査官引用 (3件)

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