特許

J-GLOBAL ID：200903054084647495

X線取り出し窓およびその製造方法ならびに前記X線取り出し窓を用いたX線露光装置

発明者： 寺島 茂 ,  渡辺 豊
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-046714
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218299
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンド等の薄膜によって薄く湾曲したX線取り出し窓を製作する。【解決手段】 半円筒状のシリコンブロックの表面に蒸着等によってダイヤモンドの薄膜11を成膜したうえで、バックエッチングによってシリコンブロックの中央部分を除去して開口部12aを有する支持体12を形成する。開口部12aに残された薄膜11はバックエッチングによって除去される前のシリコンブロックの表面形状を有し、従って半円筒状に湾曲しているため、ビームダクト2と露光室1の圧力差に耐えるに充分な機械的強度を有する。

請求項（抜粋）：

凸面状または凹面状の表面形状を有する所定の部分を除去することによって形成された開口部を備えた支持体と、該支持体の前記所定の部分を除去する前にその表面に成膜された薄膜を有するX線取り出し窓。

IPC (2件)：

G21K 5/00 ,  G21K 5/02

FI (2件)：

G21K 5/00 W ,  G21K 5/02 X

引用特許：

審査官引用 (2件)

• X線窓
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-083894   出願人：ユナイテッドキングドムアトミックエナヂイオーソリティ
• 特開平3-155116