特許

J-GLOBAL ID：200903054087041598

超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法

発明者： 樋口 俊郎 ,  黒澤 実
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022420
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231684
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 円筒状の固定(振動)子の端面における振幅を大きくし、回転子の回転速度を高めるとともに、製造が容易な超音波マイクロモータ及びその固定子の製造方法を提供する。【構成】 超音波マイクロモータにおいて、固定子を構成する金属からなる円筒殻1と、この円筒殻1の外周面に形成されるPZT膜2と、この円筒殻1の外周面の軸方向に形成される4個の電極3と、これらの電極3に電圧が印加され、前記円筒殻1の端面の振動により駆動される回転子とを設ける。

請求項（抜粋）：

(a)固定子を構成する円筒状の金属体と、(b)該円筒状の金属体の外周面に形成される圧電体膜と、(c)前記円筒状の金属体の外周面の軸方向に形成される複数の電極と、(d)該複数の電極に電圧が印加され、前記円筒状の金属体の端面の振動により駆動される回転子とを具備することを特徴とする超音波マイクロモータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-311184
  
• 強誘電体薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162703   出願人：ローム株式会社
• 特開平2-084078
  
• 特開平2-294280