特許

J-GLOBAL ID：200903054104518425

シリコン加工用工具及びその製造方法並びにその工具を用いた加工方法

発明者： 榎本 俊之 ,  谷 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  谷 泰弘
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278608
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129764
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 シリコンに対してメカノケミカル作用を生じ、かつコンタミネーションとなる反応生成物をシリコン上に形成しない、シリカ砥粒を用いたシリコン加工用工具及びその製造方法並びにその工具を用いた加工方法を提供する。【解決手段】 シリカを必要に応じ固体潤滑剤等の添加剤とともに液状樹脂に入れて攪拌混合し、シリカ砥粒を含む結合剤樹脂(混合物)を得る。この際、シリカの砥粒率を10〜70体積%に設定し、シリカ粒子の平均粒径を0.8nm〜10μmに設定する。この後、各々の結合剤に適した砥石成形法によってシリカ砥粒の砥石1を得て、加工機械の研削部10に装着し、シリコンウェーハ2を研削する。

請求項（抜粋）：

シリコンウェーハを固定砥粒加工するシリコン加工用工具であって、砥粒がシリカで形成されたことを特徴とするシリコン加工用工具。

IPC (7件)：

B24D 3/00 320 ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/02 ,  B24D 3/02 310 ,  B24D 3/28 ,  B24D 3/34 ,  H01L 21/304 622

FI (7件)：

B24D 3/00 320 Z ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 3/02 Z ,  B24D 3/02 310 A ,  B24D 3/28 ,  B24D 3/34 Z ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (13件)：

3C063AA02 ,  3C063AB02 ,  3C063BB01 ,  3C063BB07 ,  3C063BB18 ,  3C063BC01 ,  3C063BC03 ,  3C063BC08 ,  3C063BC10 ,  3C063BD01 ,  3C063BD04 ,  3C063EE10 ,  3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 超微粉シリカ砥石およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-204910   出願人：不二越機械工業株式会社, 中川威雄
• 研磨体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-356802   出願人：富士写真フイルム株式会社