特許
J-GLOBAL ID：200903054143354200
膜厚測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225399
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046525
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 ハロゲンランプや分光計を用いずに膜厚測定装置を構成することができる技術を提供する。【解決手段】 膜厚測定装置は、基板上に形成された薄膜の膜厚を測定するのに適したほぼ単色の互いに異なる複数の光を基板に順次1つずつ照射するための半導体発光素子120と、基板からの反射光を複数の光のそれぞれに関して測定するためのフォトダイオード130と、フォトダイオードによって測定された複数の光に対する測定値から求められる複数の反射率の実測値と、薄膜の複数の膜厚値から予測される反射率の予測値とから、薄膜の膜厚を決定する膜厚決定部210と、を備える。これにより、安価に膜厚測定装置を構成することが可能となる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された薄膜の膜厚を測定するための膜厚測定装置であって、前記薄膜の膜厚を測定するのに適したほぼ単色の互いに異なる複数の光を前記基板に順次1つずつ照射するための半導体発光素子と、前記基板からの反射光を前記複数の光のそれぞれに関して測定するためのフォトダイオードと、前記フォトダイオードによって測定された前記複数の光に対する測定値から求められる複数の反射率の実測値と、前記薄膜の複数の膜厚値から予測される反射率の予測値とから、前記薄膜の膜厚を決定する膜厚決定部と、を備えることを特徴とする膜厚測定装置。
Fターム (24件)：
2F065AA30
, 2F065BB17
, 2F065CC17
, 2F065CC21
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065FF48
, 2F065GG03
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ16
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL37
, 2F065LL42
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065RR09
, 2F065SS02
, 2F065SS13
