特許
J-GLOBAL ID：200903082223209418

膜厚測定装置および膜厚測定方法

発明者：
近藤 教之

近藤 教之 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-208324
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047926
出願日： 1996年08月07日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 測定時間の短縮化および装置の低価格化・小型化を図ることができる膜厚測定装置を提供する。【解決手段】 光源部2からの光L1を特定の波長の光のみを透過するフィルタ43を介して基板91に照射し、基板91からの反射光L2を2次元に配列された複数の受光素子からなる受光手段5において受光する膜厚測定装置1において、切替手段4を用いてフィルタ43の種類を切り替え、異なった波長の光を順に基板91に照射する。これにより、処理部6には基板に複数の波長の光を順に照射したときの反射光の光量の2次元的空間分布の情報が順に送られることとなり、この情報に基づいて基板91の光L1が照射される領域の膜厚を一括して求めることができる。その結果、基板91を移動させるなどといった手段が不要となり、測定時間の短縮化および装置の低価格化・小型化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、白色光を出射する光源部と、2次元に配列された複数の受光素子からなる受光手段と、前記光源部からの光を前記基板に導くとともに、前記基板において反射した光を前記受光手段に導く光学系と、互いに異なる所定の波長の光のみをそれぞれ透過する複数のフィルタからなるフィルタセットを有し、前記複数のフィルタを前記光学系の光路上に切り替えて配置する切替手段と、前記複数のフィルタの切り替えに応じて、前記受光手段からの信号を取得し、前記信号に基づいて前記薄膜の膜厚を求める処理部と、を備えることを特徴とする膜厚測定装置。
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM