テラヘルツイメージング装置およびテラヘルツイメージング方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369572
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177716
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】電気光学結晶の検出感度の低い部分からの測定結果を修正し、正確な画像を取得すること。【解決手段】試料Sの情報を含むテラヘルツパルス光T2をZnTe結晶板20の表面に垂直入射させて結像領域Aに結像させ、同時に、レーザパルス光L3を結像領域Aに入射させる。テラヘルツパルス光T2の電場によって変調されたレーザパルス光L3をCCDカメラ27で撮像することにより、テラヘルツパルス光T2の電場強度分布を反映する試料の画像を取得する。ZnTe結晶板20上の結像領域Aを移動機構30により変更して再び画像を取得する。複数枚の画像を平均化処理することにより、正確な画像を取得する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

テラヘルツ光を試料へ照射するテラヘルツ光照射手段と、前記試料から発する透過テラヘルツ光または反射テラヘルツ光が照射される電気光学結晶と、前記電気光学結晶を移動させる移動機構と、前記電気光学結晶の透過テラヘルツ光または反射テラヘルツ光が照射される領域にプローブ光を照射するプローブ光照射手段と、前記電気光学結晶から射出されるプローブ光を撮像する撮像手段と、前記移動機構により、前記電気光学結晶上の透過テラヘルツ光または反射テラヘルツ光が照射される領域を変え、その異なる領域を用いて撮像された前記プローブ光の複数の画像から前記試料の透過テラヘルツ画像または反射テラヘルツ画像を生成する画像処理手段とを備えることを特徴とするテラヘルツイメージング装置。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/23

FI (2件)：

G01N21/35 Z , G01N21/23

Fターム (14件)：

2G059AA01 , 2G059BB08 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059NN06

引用特許：

出願人引用 (5件)

自由空間の電磁放射を特徴づけるための電気光学及び磁気光学感知装置及び方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-542939 出願人：レンセレーポリテクニクインスティテュート
電気光学結晶又は磁気光学結晶の評価方法及び装置、並びに、テラヘルツ光計測方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-179324 出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
特開平2-010143

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